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[新品] LED辅助特种气体

半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体按照应用分类，主要包括：

（1）硅族气体：含硅基的硅烷类，如硅烷（SiH₄）、二氯二氢硅（SiH₂Cl₂）、乙硅烷（Si₂H₆）等。

（2）掺杂气体：含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体，如三氯化硼（BCl₃）、三氟化硼（BF₃）、磷烷（PH₃）、砷烷（AsH₃）等。

（3）蚀刻清洗气体：以含卤素的卤化物及卤碳化合物为主，如氯气（Cl₂）、三氟化氮（NF₃）、溴化氢（HBr）、四氟化碳（CF₄）、六氟乙烷（C₂F₆）等。

（4）反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳（CO₂）、氨（NH₃）、氧化亚氮（N₂O）等。

（5）金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨（WF₆）、三甲基镓（Ga（CH₃）₃）等。

在LED产业链中，外延技术、设备和材料是外延片制造技术的关键。实践证明，MOCVD是适合生长外延片的良好技术，也是一种工业化的实用技术。当前，MOCVD工艺已成为制造绝大多数光电子材料的基本技术。外延技术需要的超纯特种气体包括高纯砷烷、高纯磷烷、高纯氨气，砷化镓生产中应用硅烷N型掺杂，而氯化氢和氯气常常用做蚀刻气，氩、氢、氮则是必须的载气。同时外延生长需要的有机源主要是三甲基镓，三甲基铟，三甲基铝，二乙基锌，二甲基锌，二茂镁等。现有技术的发展对这些产品的品质要求也越来越高。

在半导体化合物生长过程中，除了纯特种气体之外，还需要部分混合气体，主要包括SiH₄/H₂。SiH₄/ N₂作为成膜源用量尽管不大，但是对产品质量要求极高，配制混合气体的露点达到-95℃以下，只有这样才可以保证外延片生长的成品率。

化合物半导体产业的扩展，带动原材料市场的迅速提升，包括晶圆、衬底、蚀刻剂、过程气体、有机金属化合物、测试和包装材料等的需求每年以大约21%的比例递增，而过程气体（砷烷、磷烷、氨气、氩、氢、氮、氯化氢、氯气等）占整体原料的消耗8%，金属有机化合物占8%。本司专业供应LED行业中用到的气体：硅烷（SiH₄）、磷烷、氨气、氩、氢、氮、氯化氢、氯气、）、四氟化碳（CF₄）、六氟乙烷（C₂F₆）等欢迎来电咨询