设备名称：高温磷酸清洗机
适用于：2-6英寸硅片清洗
工艺流程：上料→预热→蚀刻1→蚀刻2→降温→QDR→下料
产品规格
控制模式：全自动控制
整机尺寸：2500mm(L)X1800mm(W)X1850mm(H)
工件：2-6英寸
产能：25片/槽，50片/槽可按客户产能需求设计
操作高度：850±50mm
温度：250℃-280℃
电源：380V 三相五线制，50HZ,14KW
设备特点：
1.设备骨架为SUS304外包3mmPP，外壳采用进口象牙白PVC板热熔焊接；
2. 采用10.4英寸“PROFACE”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制；
3. 槽体设置温度、液位监控制装置；
4. 药液槽配透明槽盖，有效防止药液挥发，污染；
5.清洗区域高效过滤器，无二次污染机会；
6.设备采用耐腐蚀导线并通过耐腐蚀PE 管进行保护，防腐防水；
7.设备底部安装3mm 厚PP 防漏托盘，有效防止设备漏液损害厂务地板；
8.机械臂手采用直线滑块导向，反向安装，减少油及粉尘污染且便于维护；
9.用户操作人员上料后，全过程自动化控制，减少人工干预。设备具有自动化程度高、运行成本低、生产效率高、性能稳定、安全可靠等特点。
10.设备安全性能高，设备在防漏液、加热、漏电等方面都做了严格的设计，确保人身和厂务安全； |
产品介绍
