设备名称：显影清洗台
适用于：2-6寸晶圆清洗
产品规格
控制模式：半自动控制（工件搬运为手动操作，工艺参数控制过程为自动）
整机尺寸：约1400mm（L）×1200mm(W)×1800mm(H)
操作台面高度：850±20mm
工件：2-6英寸晶圆
产能：25片/槽 可按客户产能需求设计
电源：380V 三相五线制，50HZ,5KW
纯水：CL-PVC 进口DN25 管径，0.2～0.3 MPa 压力，用量MAX:2m³/h
抽风口：φ200*1 抽风量MAX: 900m³/h ,风量口装有蝶阀，可手动调节
CDA: 0.4～0.6 MPa 压力，接管口径 ∮8mm,用量MAX:0.5m³/h
N2: 0.4～0.6 MPa 压力，接管口径 ∮8mm,用量MAX:2m³/h
设备特点：
1.骨架：国产优质SUS304 骨架外包；
2. 外壳：2mm 厚SUS304 镜面板折弯焊接而成；
3. 台面：2mm 厚SUS304 镜面板
4. 采用10.4英寸“PROFACE”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制；
5. 槽体设置温度、液位监控装置；
6. 药液槽配透明槽盖，有效防止药液挥发，污染；
7.清洗区域配有高效过滤器，无二次污染机会；
8. 用户操作人员上料后，全过程自动化控制，减少人工干预。设备具有自动化程度高、运行成本低、生产效率高、性能稳定、安全可靠等特点；
9.设备安全性能高，设备在防漏液、加热、漏电等方面都做了严格的设计，确保人身和厂务安全； |
产品介绍
